Máy làm sạch bằng plasma (compact) PiPi
0₫
Model: PiPi
Hãng sản xuất: Yamato – Nhật Bản
- Chi tiết sản phẩm
Mô tả
Chế độ plasma: RIE (khắc ion phản ứng)
Cấu trúc điện cực: Loại tấm phẳng song song
Kích thước điện cực: W130×D130mm
Kích thước bên trong: W230×D130×H100mm
Kích thước bên ngoài: W438×D520×H565mm
Nguồn điện (50/60Hz): AC115V/AC220V, một pha với biến áp giảm áp
Đồng hồ đo chân không: Đồng hồ Bourdon
Bộ điều khiển: Sequencer
Đơn vị vận hành/hiển thị: Màn hình cảm ứng STN đơn sắc 4.5 inch
Công suất phát tần số cao: 50-200W
Bộ dao động tham chiếu: Bộ dao động thạch anh
Tần số dao động: 13.56MHz
Cài đặt đầu ra: Nút cài đặt bằng tay
Phương pháp điều chỉnh: Tự động điều chỉnh
Khí xả: N2, Ống nối kiểu cắn 1/4 inch
Khí phản ứng: Ar, Đồng hồ đo lưu lượng khí 1/4 inch, Ống nối kiểu cắn
Kích thước bên trong: W230×D130×H100mm
Kích thước bên ngoài: W438×D520×H565mm
Trọng lượng: 50kg
