Lò sấy chịu nhiệt độ cao FO810IC-T03

  • Hãng sản xuất: Yamato – Nhật

Model: FO810IC-T03

Mô tả

Đặc điểm công nghệ và tính năng ưu việt:
    • Kiểm soát môi trường nồng độ oxy cực thấp (Kị khí / Khí trơ): Thiết bị ứng dụng công nghệ dịch chuyển khí tiên tiến, cho phép đẩy toàn bộ không khí thông thường ra ngoài bằng cách nạp khí Nitơ (N₂) hoặc Argon (Ar). Hệ thống đạt khả năng duy trì môi trường kị khí hoàn hảo với nồng độ Oxy giảm xuống mức cực thấp, bảo vệ tuyệt đối các mẫu nhạy cảm với hiện tượng oxy hóa.
    • Tích hợp máy phân tích nồng độ Oxy nhập khẩu cao cấp: Lò nung được trang bị sẵn bộ phân tích đo lường nồng độ oxy liên tục nhập khẩu. Chu trình vận hành thông minh tự động kích hoạt: Sau khi nồng độ Oxy trong buồng sấy giảm xuống đúng giá trị cài đặt an toàn, hệ thống mới tự động bắt đầu quá trình gia nhiệt – giữ nhiệt và làm mát theo lập trình.
    • Cấu trúc lòng lò sợi gốm cách nhiệt kết hợp độ kín chân không: Thiết kế thân lò sử dụng vật liệu sợi gốm (ceramic fiber) cao cấp đảm bảo khả năng cô lập và giữ nhiệt độ cực cao bên trong không bị thất thoát, tối ưu hóa công suất hoạt động giúp duy trì nồng độ oxy thấp và ổn định.
    • Cơ chế cửa thả nổi và gioăng làm mát bằng nước độc quyền: Cấu trúc cửa được cấp bằng sáng chế (Patented floating door structure) phối hợp linh hoạt cùng hệ thống dải bọc gioăng làm mát bằng nước (Water-cooled seal strip) giúp buồng sấy luôn đạt độ kín khít tuyệt đối, chống biến dạng cơ học khi vận hành liên tục ở tầm nhiệt cao.
    • An toàn tối đa với van xả áp suất vi sai siêu nhỏ: Nhằm bảo vệ an toàn cho cả thiết bị và người vận hành, lò tích hợp một van xả an toàn áp suất vi sai siêu nhỏ (Micro differential pressure exhaust safety valve), giữ cho trạng thái áp suất dương siêu nhỏ bên trong buồng luôn ở mức an toàn ổn định.
    • Hệ thống ống xả tích hợp quạt làm mát và vận hành chương trình tự động: Trang bị đường ống xả gắn kèm quạt làm mát chuyên dụng, hỗ trợ điều khiển lập trình chu trình tự động (automatic program operation) giúp tăng tốc quá trình hạ nhiệt hạ tải sau khi nung sấy mà không làm ảnh hưởng đến bầu khí trơ bên trong.

Ứng dụng thực tế phòng thí nghiệm và công nghiệp:
  • Chức năng chính: Chuyên dụng cho quá trình đóng rắn tấm wafer (Wafer curing) trong ngành bán dẫn, thiêu kết nhiệt độ cao cho bột nhựa PTFE và các thành phần sản phẩm (thanh, tấm), xử lý nhiệt luyện vật liệu đặc biệt trong môi trường không có oxy.
  • Ngành kiểm nghiệm tiêu chuẩn áp dụng: Phù hợp bắt buộc cho các nhà máy sản xuất Linh kiện Bán dẫn, Thiết bị điện tử vi mạch, phòng R&D nghiên cứu Vật liệu Polymer cao cấp (PTFE), hàng không vũ trụ và luyện kim đòi hỏi khắt khe về dải nhiệt lên tới 800°C trong môi trường khí bảo vệ.

Thông số kỹ thuật Giá trị chi tiết (Model FO810IC-T03)
Model FO810IC-T03
Ứng dụng chính Đóng rắn Wafer bán dẫn (Wafer curing), Thiêu kết PTFE
Phạm vi kiểm soát nhiệt độ 100 ~ 800 °C
Độ chính xác điều chỉnh nhiệt ±1.0 °C (tại 800 °C, trạng thái không tải)
Tốc độ gia nhiệt (Heating rate) 2 ~ 8 °C/phút
Đường ống khí trơ hỗ trợ Tích hợp 2 đường ống dẫn khí kép cho Nitơ (N₂) và Argon (Ar)
Hệ thống phân tích Oxy Máy phân tích nồng độ Oxy nhập khẩu (Imported oxygen analyzer)
Cấu trúc cửa lò Thiết bị cửa thả nổi đã được cấp bằng sáng chế
Hệ thống làm mát gioăng cửa Làm mát bằng nước (Water-cooled seal strip)
Cơ chế an toàn áp suất Van xả an toàn áp suất vi sai siêu nhỏ (Micro differential pressure)
Hệ thống xả nhiệt Ống dẫn xả tích hợp quạt làm mát chuyên dụng
Phương pháp vận hành Điều khiển chu trình lập trình tự động (Automatic program operation)
Kích thước ngoài (W×D×H) 820 × 870 × 1745 mm (Không bao gồm các phần nhô ra)
Vật liệu cách nhiệt lòng lò Sợi gốm chịu nhiệt cao (Ceramic fiber)
Xuất xứ Trung Quốc